Google Documents : Studi pembuatan film tipis Tin pada baja AISI-D2 dengan reactive DC Diode Unbalanced Magnetron Sputtering pada tekanan ruang vakum tinggi
| Title | Studi pembuatan film tipis Tin pada baja AISI-D2 dengan reactive DC Diode Unbalanced Magnetron Sputtering pada tekanan ruang vakum tinggi |
|---|---|
| Abstract | |
| Authors | Y Sari |
| Journal Name | Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2002 |
| Publish Year | 2002 |
| Citation | (not set) |
| Url | https://scholar.google.com/scholar?q=+intitle:"Studi pembuatan film tipis Tin pada baja AISI-D2 dengan reactive DC Diode Unbalanced Magnetron Sputtering pada tekanan ruang vakum tinggi" |
| Author | Prof. YUNITA SARI, S.Kep., Ns., MHS., Ph.D |
| File | 2396387.pdf |