| Title | FG-FET Berbasis Film Ag2O Untuk Pendeteksian H2S |
|---|
| Author Order | of |
|---|
| Accreditation | |
|---|
| Abstract | Film Ag2Oàtelah ditumbuhkan pada top electrode Si/Ti/Pt dengan evaporasi termal. Proses evaporasi dilakukan pada tekanan 2ÃÂ10-2 mbar dalam atmosfir oksigen sintetis. SEM digunakan untuk menganalisa struktur permukaan film. Top electrode dilekatkan pada chip FG-FETàuntuk membentuk sebuah sensoràgas yang sensitif terhadap H2S. Karakterisasi yang meliputi uji temperatur, konsentrasi, kelembaban dan selektivitas dilakukan untuk mengetahui kehandalan sensor. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa FG-FET berbasis film Ag2O dapat mendeteksi H2S pada konsentrasi rendah dengan temperatur operasi optimum 95ðC dalam keadaan kering maupun lembab. Penambahan klaster Feàpada permukaan film Ag2O dapat meningkatkan unjuk kerja sensor yang ditandai dengan peningkatan sinyal keluaran sensor.àKeywords:FG-FET, Film Ag2O, Fe,Fungsi Kerja, H2S |
|---|
| Publisher Name | Masyarakat Otomasi Kontrol dan Instrumentasi |
|---|
| Publish Date | 2012-04-11 |
|---|
| Publish Year | 2011 |
|---|
| Doi | DOI: 10.5614/joki.2011.3.2.3 |
|---|
| Citation | |
|---|
| Source | Jurnal Otomasi Kontrol dan Instrumentasi |
|---|
| Source Issue | Vol 3, No 2 (2011): Jurnal Otomasi Kontrol dan Instrumentasi |
|---|
| Source Page | 87 |
|---|
| Url | http://journals.itb.ac.id/index.php/joki/article/view/3941 |
|---|
| Author | Dr BILALODIN, S.Si, M.Si |
|---|
| File | 759657.pdf |
|---|